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無線溫度記錄器

更新時間:2025-01-15

簡要描述:

微型無線溫度記錄器光刻系統是制造芯片的核心裝備,其中溫度的檢測尤為重要,溫度會影響光刻膠流動,從而影響光刻的成品率。微型無線溫度記錄器體積微小,重量輕,攜帶方便。適用于曝光系統,光刻系統等的溫度檢測記錄。
產品特點

1. 體積微小、靈活通用;

2. 溫度準確度小于10mK;

3. 采用無線通訊方式,響應時間短,可連續工作時間超過10天。

產品尺寸

長20mm×寬

型號:RD3358點擊量:1679

  免費咨詢:021-59966206

  發郵件給我們:501630350@qq.com

無線溫度記錄器微型無線溫度記錄器

產品概述

光刻系統是制造芯片的核心裝備,其中溫度的檢測尤為重要,溫度會影響光刻膠流動,從而影響光刻的成品率。微型無線溫度記錄器體積微小,重量輕,攜帶方便。適用于曝光系統,光刻系統等的溫度檢測記錄。

微型無線溫度記錄器產品特點

1. 體積微小、靈活通用;

2. 溫度準確度小于10mK;

3. 采用無線通訊方式,響應時間短,可連續工作時間超過10天。

微型無線溫度記錄器主要參數

產品尺寸

長20mm×寬20mm×厚10mm

溫度范圍

0 ~ 40℃

溫度準確度

10mK(3σ)

重復測量準確度

<5mK(3σ)

傳感器響應時間

1s

采集頻率

Max.1Hz

連續工作時間

10days

通訊方式

Wifi

保修期

1年






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